通过非自激脉冲-周期性气体放电等离子体沉积喷涂类金刚石涂层

НАНЕСЕНИЕ АЛМАЗОПОДОБНЫХ ПОКРЫТИЙ осаждением из плазмы несамостоятельного импульсно-периодического газового разряда

已研发烃类气体混合物放电等离子体喷涂类金刚石涂层 (DLC) 方法。制备涂层具有独特的物理和化学性能（高硬度、低摩擦、高耐磨性、化学惰性、生物相容性、透明度），可用作耐磨、保护和装饰涂层。所提出的方法将衬底表面离子溅射、过渡层形成和涂层喷涂等阶段整合起来，结合在大表面上的高速涂层喷涂，确保了类金刚石涂层喷涂工艺较高的技术经济指标。

栅极稳定等离子体阴极电子发射，支持非自激脉冲周期气体放电等离子体，制备类金刚石涂层。该方法可有效分解含烃气体，确保高速喷涂类金刚石涂层（1-10 μm/h），在总面积达104平方厘米的金属和合金表面，涂层具有高硬度（10-80 GPa）和低摩擦系数（高达0.01）。该设备的工作原理和设计保证了所有零部件具有较长的使用寿命（超过 103 小时）。

      Разработан метод нанесения алмазоподобных покрытий (АПП) из плазмы разряда в углеводородсодержащих газовых смесях. Полученные покрытия обладают уникальным сочетанием физикохимических свойств (высокая твердость, низкое трение, высокая износостойкость, химическая инертность, биосовместимость, прозрачность) и предназначены для применения в качестве износостойких, защитных и декоративных покрытий. Предложенный метод позволяет объединить стадии ионного распыления поверхности подложки, формирования переходного слоя и нанесения покрытия, что в сочетании с высокой скоростью нанесения покрытия на большие поверхности обеспечивает высокие технико-экономические показатели процесса нанесения АПП.

      Для получения АПП используется плазма несамостоятельного импульсно-периодического газового разряда, поддерживаемого электронной эмиссией плазменного катода с сеточной стабилизацией. Способ обеспечивает эффективное разложение углеводородсодержащих газов и высокую скорость нанесения алмазоподобных покрытий (1–10 мкм/ч), обладающих высокой твердостью (10–80 Гпа) и низким коэффициентом трения (до 0,01) на поверхности металлов и сплавов с общей площадью до 104 см2. Принцип действия устройства и его конструктивное исполнение обеспечивают большой ресурс всех узлов и деталей (более 103 час).