增加摆性的和曲线形悬挂装置的轴式硅敏感元件，用于导航水平倾斜角度传感器。
适用范围：适用于空间中物体的水平调整系统和定向系统。
结构特点：硅敏感元件是在厚度为380 μm的晶圆上制造的。
技术参数：
| 悬挂装置厚度 | 10 μm |
| 敏感元件尺寸 | 15×15 mm |
RU-G-0298
俄方技术项目供应
信息技术
微机电系统的敏感元件
2026-10-15
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反馈登记表
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项目名称微机电系统的敏感元件
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项目编号RU-G-0298
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技术领域信息技术
